太阳能光伏系统是指利用光伏单晶硅、多晶硅等半导体材料的光生伏打效应将太阳能转化为直流电能的设施。核心是太阳能电池板。真空技术用在单晶硅和多晶硅的烧结炉中，可防止杂质污染，防止和其他气体的反应，提高拉晶纯度。

真空技术在硅片、电池、封装线和光伏成品模块等工件搬运时，精准而高效。在其表面避免留下痕迹或对其造成二次污染。在PE刻蚀扩散中也需用到真空设备。

 光伏行业主要应用以下类型真空泵：螺杆真空泵、旋片真空泵、涡旋泵和罗茨机组等。